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        MF-AO系列自動(dòng)烘箱
            發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:43    

        MF-AO系列自動(dòng)烘箱是專(zhuān)門(mén)設計用半導體集成電路自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn),與現場(chǎng)AGV,ROBOT等自動(dòng)化配合,實(shí)現無(wú)人操作,安全生產(chǎn)。


        MF-AO系列自動(dòng)烘箱

        用途特點(diǎn):

        本產(chǎn)烘箱品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝。

        技術(shù)特點(diǎn): 

        自動(dòng)化操作系統滿(mǎn)足現場(chǎng)無(wú)人操作的需求,自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)系統完全融入工廠(chǎng)自動(dòng)化系統中,根據遠程指令動(dòng)作及反饋;

        更加安全的烘箱,自動(dòng)門(mén)狀態(tài)、動(dòng)作聯(lián)鎖及多重保護措施,避免了系統間干涉出現;

        烘箱采用雙門(mén)設計,自動(dòng)門(mén)實(shí)現自動(dòng)生產(chǎn),手動(dòng)門(mén)進(jìn)行保養與應急生產(chǎn)。采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時(shí)的腔體內清潔和預防了產(chǎn)品表面沾污;整體框架設計能與外部輸送設備機構聯(lián)動(dòng),保證動(dòng)作一致性。

        過(guò)程控制:

        烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現場(chǎng)各種工藝需求;

        工廠(chǎng)MES,CIM,EAP配套軟件使用,可實(shí)現烘箱溫度監控,產(chǎn)品運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄。

        設備特點(diǎn):

        可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

        溫度均勻度依照GBT30435-2013;

        設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

        提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

        滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

        提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

        配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

           

        型號

        MF-AO****W/A

        1640

        2640

        循環(huán)系統

        熱風(fēng)循環(huán)系統

        性能參數

        溫度范圍

        RT. + 25°C~250°C

        溫度波動(dòng)范圍

        0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

        溫度均勻性

        0-100℃<1℃100-200℃<2℃

        升溫時(shí)間

        < 30Min175℃&  < 40Min200℃

        烘箱結構

        烘箱外腔體選材

        烤漆板、不銹鋼

        烘箱內腔體選材

        SUS304

        保溫材料

        高密度陶瓷纖維棉

        加熱

        無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

        冷卻方式

        水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻

        內腔尺寸W *H *D mm

        640 *640* 1100

        640 *640 * 550

        外形尺寸W * H *D mm

        1700 * 1100 * 1840

        1800* 1100 * 2040

        容積 (L)

        160

        450

        使用環(huán)境

        溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

        動(dòng)力配置

        電源配置

        AC380 3PH

        AC380 3PH

        烘箱功率

        13KVA

        20KVA

         

        基本功能配置:


        漏電保護器;

        電磁門(mén)鎖;

        加熱保險絲;

        電源缺相保護;

        超溫保護器;

        低溫保護器;

        加熱器防干燒保護;

        馬達轉速檢測保護;

        UPS;

        壓縮空氣檢測;

        N2流量檢測;

        水流量檢測;

        功能選配:

        腔體氧含量在線(xiàn)檢測;

        高低溫聯(lián)動(dòng)檢測;

        腔體壓力檢測;

        自動(dòng)排風(fēng)閥;

        廢氣沉淀回收裝置;

        腔體空燒排污;

        腔體內除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;










        服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580

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