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        MF-PO系列壓力烘箱
            發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:37    

        MF-PO系列無(wú)氧化壓力烘箱設計用來(lái)滿(mǎn)足半導體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設計理念與工藝技術(shù),可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


        MF-PO系列壓力烘箱

        用途特點(diǎn):

        本產(chǎn)品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝。用于去除半導體加工、LCD面板、PDP面板、觸摸屏等設備粘接過(guò)程中產(chǎn)生的小氣泡的設備。本設備采用壓力和加熱操作,精確的溫度和壓力控制來(lái)進(jìn)行消泡操作,從而增強固化和附著(zhù)力。

        技術(shù)特點(diǎn): 

        保證內部流體的流動(dòng)通過(guò)風(fēng)機,將風(fēng)機的壓力密封與磁性驅動(dòng)制動(dòng)器連接在一起,實(shí)現電機驅動(dòng)轉動(dòng),從而保證了壓力室溫度的均勻;

        多重壓力保護及安全裝置設計。

        過(guò)程控制

        與配套AUTORECIPE軟件,溫度監控軟件,可實(shí)現產(chǎn)品運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄,提高了生產(chǎn)效率控制產(chǎn)品品質(zhì)。

        設備特點(diǎn):

        溫度均勻度依照GBT30435-2013;

        設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

        提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

        滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

        提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

        配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

          

        型號

        MF-PO****

        1600

        1700

        2600

        2700

        循環(huán)系統

        熱風(fēng)循環(huán)系統

        性能參數

        溫度范圍

        RT. + 25°C ~250°C

        壓力范圍

        0-16kg/cm2/0-8 kg/cm2

        溫度均勻性

        0-100℃<1℃100-200℃<2℃

        升溫時(shí)間

        < 30Min175℃&  < 40Min200℃

        烘箱結構

        烘箱外腔體選材

        烤漆、不銹鋼

        烘箱內腔體選材

        SUS304

        保溫材料

        高密度陶瓷纖維棉

        加熱

        不銹鋼加熱管

        冷卻方式

        水冷

        內腔尺寸W *H *D mm

        370 *500* 335

        490 *560 * 366

        370 *500 *335

        490*560* 366

        外形尺寸W * H *D mm

        1430 *2030 * 1650

        1600* 2300 * 1750

        1420 * 2050 * 1950

        1600 * 2300* 1950

        容積 (L)

        60

        90

        120

        180

        使用環(huán)境

        溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

        動(dòng)力配置

        電源配置

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        烘箱功率

        12KVA

        12KVA

        22KVA

        22KVA

         

        基本功能配置:

        漏電保護器;

        加熱保險絲;

        電源缺相保護;

        超溫保護器;

        低溫保護器;

        加熱器防干燒保護;

        馬達轉速檢測保護;

        腔體排氧裝置;

        腔體安全泄壓閥;

        功能選配:

        N2流量檢測;

        高低溫聯(lián)動(dòng)檢測;

        腔體壓力檢測;

        自動(dòng)排風(fēng)閥;

        廢氣沉淀回收裝置;

        腔體空燒排污;










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