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        MF-HO系列高溫烘箱
            發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:08    

        MF-HO系列無(wú)氧高溫烘箱設備是專(zhuān)門(mén)設計用來(lái)滿(mǎn)足半導體集成電路行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品的高溫烘烤需求。

        MF-HO系列高溫烘箱

        用途特點(diǎn):

        本產(chǎn)品適用于半導體特殊工藝加工,實(shí)驗室產(chǎn)品驗證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。

        技術(shù)特點(diǎn): 

        多用途的腔體結構,有效的工作溫度范圍 +500°C;

        腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉,而且還加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層,以減少內室的熱傳導。

        過(guò)程控制:

        多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現場(chǎng)各種工藝需求;

        與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監控軟件,可實(shí)現產(chǎn)品烘箱運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

        設備特點(diǎn):

        可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

        溫度均勻度依照GBT30435-2013;

        設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

        提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

        滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

        提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

        配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

         

        型號

        MF-HO****

        1500

        2500

        2600

        2700

        循環(huán)系統

        熱風(fēng)循環(huán)系統

        性能參數

        溫度范圍

        RT. + 25°C ~500°C

        溫度波動(dòng)范圍

        200-300℃5300-400℃8

        溫度均勻性

        200-300℃<5300-400℃<8

        升溫時(shí)間

        < 40Min300℃&  < 60Min400℃

        烘箱結構

        烘箱外腔體選材

        烤漆板、不銹鋼

        烘箱內腔體選材

        SUS304

        保溫材料

        高密度陶瓷纖維棉

        加熱

        無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

        冷卻方式

        水冷、風(fēng)冷、多段式冷卻

        內腔尺寸W *H *D mm

        500 *640* 500

        500 *640 * 560

        640*640 * 560

        700 *640* 560

        外形尺寸W * H *D mm

        1190 * 900 * 1000

        1300* 1050 * 1890

        1300 * 1050 * 1900

        1460 *1050 * 1900

        容積 (L)

        160

        320

        450

        490

        使用環(huán)境

        溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

        動(dòng)力配置

        電源配置

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        AC380V3PH

        烘箱功率

        10KVA

        20KVA

        20KVA

        20KVA

         

        基本功能配置:

        漏電保護器;

        電磁門(mén)鎖;

        加熱保險絲;

        電源缺相保護;

        超溫保護器;

        低溫保護器;

        加熱器防干燒保護;

        馬達轉速檢測保護;

        N2壓力檢測;

        功能選配:

        N2流量檢測;

        高低溫聯(lián)動(dòng)檢測;

        自動(dòng)排風(fēng)閥;

        廢氣沉淀回收裝置;










        服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580

        傳真:021-64306520
        郵箱:shanghai@mfinetech.com
        地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號樓
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