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        MF-OVV系列無(wú)氧烘箱(垂直送風(fēng))
            發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:03    

        MF-OVV系列烘箱設備是專(zhuān)門(mén)設計用來(lái)滿(mǎn)足半導體集成電路行業(yè)配套烘箱,它具有先進(jìn)的設計理念與工藝技術(shù),可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


        MF-OVV系列無(wú)氧烘箱(垂直送風(fēng))

        用途特點(diǎn):

        本產(chǎn)品適用于半導體加工,該烘箱采用垂直熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。

        技術(shù)特點(diǎn): 

        采用垂直送風(fēng)系統,垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部,與傳統安裝方式相比,減少安裝空間20-60%。提高生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)效率,節省設備空間;

        內腔采用SUS304拉絲板,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時(shí)的腔體內清潔和預防了產(chǎn)品表面沾污;

        內門(mén)結構后門(mén)為單結構,采用雙密封結構,防止熱量流失;

        整體框架的高度和水平度可通過(guò)地腳螺栓實(shí)現微調;

        大容積的設計,由于改進(jìn)了隔斷和支撐板,可以同時(shí)承受更多的產(chǎn)品重量;

        優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高,運行時(shí)不會(huì )影響環(huán)境,室內溫度保持不變。

        過(guò)程控制:

        多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現場(chǎng)各種工藝需求;

        與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監控軟件,可實(shí)現產(chǎn)品烘箱運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

        設備特點(diǎn):

        堅持工藝優(yōu)先的設計原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩定,材料利用最合理,力求提升設備穩定性和降低運行成本;

        本著(zhù)人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場(chǎng)情況,并不斷完善設計,使現場(chǎng)使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

        可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

        提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

        可定制層板,滿(mǎn)足承重與間距要求;

        溫度均勻度依照GBT30435-2013;

        設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準;

        滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

        提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

        配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

         

        型號

        MF-OVV****

        1600

        1640

        1800

        循環(huán)系統

        熱風(fēng)循環(huán)系統

        性能參數

        溫度范圍

        RT. + 25°C ~250°C

        溫度波動(dòng)范圍

        0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

        溫度均勻性

        0-100℃<1℃100-200℃<2℃

        升溫時(shí)間

        < 30Min175℃&  < 40Min200℃

        烘箱結構

        烘箱外腔體選材

        烤漆、不銹鋼

        烘箱內腔體選材

        SUS304

        保溫材料

        高密度陶瓷纖維棉

        加熱

        無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

        冷卻方式

        風(fēng)冷、多段式冷卻

        內腔尺寸W *H *D mm

        600 *600* 1100

        640 *640 * 1100

        800 *800 * 1300

        外形尺寸W * H *D mm

        1030 * 950 * 1900

        1030* 950 * 1900

        1200 * 1100 * 2100

        容積 (L)

        360

        450

        830

        使用環(huán)境

        溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

        動(dòng)力配置

        電源配置

        AC380V 3PH

        AC380V 3PH

        AC380V 3PH

        烘箱功率

        13KVA

        13KVA

        16KVA


        基本功能配置:

        電源缺相保護;

        漏電保護器;

        電磁門(mén)鎖(氣缸門(mén)鎖);

        過(guò)載保險絲;

        超溫保護器;

        加熱器防干燒;

        馬達轉速檢測;

        N2壓力檢測;

        N2過(guò)濾調壓閥;

        選配功能:

        在線(xiàn)氧含量檢測;

        N2流量檢測;

        高低溫表設定聯(lián)動(dòng);

        腔體壓力檢測;

        自動(dòng)排風(fēng)裝置;

        廢氣沉淀回收裝置;










        服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580

        傳真:021-64306520
        郵箱:shanghai@mfinetech.com
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